ამჟამად, თითქმის ყველა მაღალი დონის ულტრა მაღალი სისუფთავის ლითონის სპილენძის სამიზნე, რომელიც მოითხოვს IC ინდუსტრიას, მონოპოლიზებულია რამდენიმე მსხვილი უცხოური მრავალეროვნული კომპანიის მიერ.შიდა IC ინდუსტრიისთვის საჭირო ყველა ულტრასუფთა სპილენძის სამიზნე უნდა იყოს იმპორტირებული, რაც არამარტო ძვირია, არამედ იმპორტის პროცედურებშიც რთულია, ამიტომ ჩინეთს სასწრაფოდ სჭირდება ულტრა მაღალი სისუფთავის (6N) სპილენძის დაფქვის სამიზნეების შემუშავება და გადამოწმება. .მოდით გადავხედოთ ძირითად პუნქტებსა და სირთულეებს ულტრა მაღალი სისუფთავის (6N) სპილენძის დაფქვის სამიზნეების შემუშავებაში.
1,ულტრა მაღალი სისუფთავის მასალების შემუშავება
მაღალი სისუფთავის Cu, Al და Ta ლითონების გამწმენდი ტექნოლოგია ჩინეთში შორს არის ინდუსტრიულ განვითარებულ ქვეყნებში.დღესდღეობით, მაღალი სისუფთავის ლითონების უმეტესობა, რომელთა მიწოდებაც შესაძლებელია, ვერ აკმაყოფილებენ ინტეგრირებული სქემების ხარისხის მოთხოვნებს დახვეწის სამიზნეებისთვის, ინდუსტრიაში არსებული ყველა ელემენტის ანალიზის ჩვეულებრივი მეთოდების მიხედვით.სამიზნეში ჩართვის რაოდენობა ძალიან მაღალია ან არათანაბრად არის განაწილებული.ნაწილაკები ხშირად წარმოიქმნება ვაფლზე დაყრის დროს, რის შედეგადაც ხდება მოკლე ჩართვა ან ურთიერთდაკავშირების ღია წრე, რაც სერიოზულად მოქმედებს ფილმის მუშაობაზე.
2,სპილენძის თხრილის სამიზნის მომზადების ტექნოლოგიის შემუშავება
სპილენძის თხრილის სამიზნის მომზადების ტექნოლოგიის შემუშავება ძირითადად ფოკუსირებულია სამ ასპექტზე: მარცვლის ზომა, ორიენტაციის კონტროლი და ერთგვაროვნება.ნახევარგამტარების ინდუსტრიას აქვს ყველაზე მაღალი მოთხოვნები სამიზნეების დაშლისა და ნედლეულის აორთქლებაზე.მას აქვს ძალიან მკაცრი მოთხოვნები ზედაპირის მარცვლის ზომისა და სამიზნის ბროლის ორიენტაციის კონტროლისთვის.სამიზნის მარცვლის ზომა უნდა კონტროლდებოდეს 100-ზეμ M ქვემოთ, შესაბამისად, მარცვლის ზომის კონტროლი და კორელაციური ანალიზისა და გამოვლენის საშუალებები ძალიან მნიშვნელოვანია ლითონის სამიზნეების განვითარებისთვის.
3,ანალიზის განვითარება დატესტირება ტექნოლოგია
სამიზნის მაღალი სისუფთავე ნიშნავს მინარევების შემცირებას.წარსულში, ინდუქციურად შეწყვილებული პლაზმა (ICP) და ატომური შთანთქმის სპექტრომეტრია გამოიყენებოდა მინარევების დასადგენად, მაგრამ ბოლო წლებში, უფრო მაღალი მგრძნობელობის მქონე ბრწყინვალების გამონადენის ხარისხის ანალიზი (GDMS) თანდათან გამოიყენებოდა სტანდარტად. მეთოდი.ნარჩენი წინააღმდეგობის კოეფიციენტის RRR მეთოდი ძირითადად გამოიყენება ელექტრული სისუფთავის დასადგენად.მისი განსაზღვრის პრინციპია ძირითადი ლითონის სიწმინდის შეფასება მინარევების ელექტრონული დისპერსიის ხარისხის გაზომვით.იმის გამო, რომ ეს არის წინააღმდეგობის გაზომვა ოთახის ტემპერატურაზე და ძალიან დაბალ ტემპერატურაზე, მარტივია ნომრის აღება.ბოლო წლებში, ლითონების არსის შესასწავლად, ძალიან აქტიურია კვლევა ულტრა მაღალი სისუფთავის შესახებ.ამ შემთხვევაში, RRR მნიშვნელობა არის საუკეთესო საშუალება სიწმინდის შესაფასებლად.
გამოქვეყნების დრო: მაისი-06-2022