როგორც ყველამ ვიცით, ვაკუუმური აორთქლება და იონური დაფქვა ჩვეულებრივ გამოიყენება ვაკუუმურ საფარში.რა განსხვავებაა აორთქლების საფარსა და აორთქლების საფარს შორის?შემდეგ, RSM-ის ტექნიკური ექსპერტები გაგვიზიარებენ.
ვაკუუმური აორთქლების საფარი არის აორთქლებადი მასალის გაცხელება გარკვეულ ტემპერატურამდე რეზისტენტული გათბობის ან ელექტრონული სხივის და ლაზერული დაბომბვის საშუალებით გარემოში ვაკუუმის ხარისხით არანაკლებ 10-2Pa, ისე, რომ მოლეკულების თერმული ვიბრაციის ენერგია ან მასალაში არსებული ატომები აღემატება ზედაპირის შეკვრის ენერგიას, ასე რომ, დიდი რაოდენობით მოლეკულები ან ატომები აორთქლდება ან სუბლიმირებულია და პირდაპირ გროვდება სუბსტრატზე და ქმნის გარსს.იონის დაფხვნილის საფარი იყენებს დადებითი იონების მაღალსიჩქარიან მოძრაობას, რომელიც წარმოიქმნება გაზის გამონადენით ელექტრული ველის მოქმედებით სამიზნის დაბომბვის მიზნით, როგორც კათოდი, ისე, რომ სამიზნეში ატომები ან მოლეკულები გაიქცნენ და დალექილი სამუშაო ნაწილის ზედაპირზე ჩამოიყალიბონ. საჭირო ფილმი.
ვაკუუმური აორთქლების საფარის ყველაზე ხშირად გამოყენებული მეთოდია წინააღმდეგობის გათბობა, რომელსაც აქვს მარტივი სტრუქტურის, დაბალი ღირებულებისა და მოსახერხებელი მუშაობის უპირატესობები;მინუსი ის არის, რომ ის არ არის შესაფერისი ცეცხლგამძლე ლითონებისა და მაღალი ტემპერატურის რეზისტენტული დიელექტრიკული მასალებისთვის.ელექტრონული სხივის გათბობა და ლაზერული გათბობა შეიძლება გადალახოს წინააღმდეგობის გათბობის ნაკლოვანებები.ელექტრონული სხივის გაცხელებისას ფოკუსირებული ელექტრონული სხივი გამოიყენება დაბომბული მასალის პირდაპირ გასათბობად, ხოლო ელექტრონული სხივის კინეტიკური ენერგია ხდება სითბოს ენერგია, რაც მასალის აორთქლებას ხდის.ლაზერული გათბობა იყენებს მაღალი სიმძლავრის ლაზერს, როგორც გათბობის წყაროს, მაგრამ მაღალი სიმძლავრის ლაზერის მაღალი ღირებულების გამო, მისი გამოყენება ამჟამად მხოლოდ რამდენიმე კვლევით ლაბორატორიაშია შესაძლებელი.
დახშობის ტექნოლოგია განსხვავდება ვაკუუმური აორთქლების ტექნოლოგიისგან.„სპუტერინგი“ გულისხმობს ფენომენს, რომ დამუხტული ნაწილაკები ბომბავს მყარ ზედაპირს (მიზანს) და აიძულებს მყარ ატომებს ან მოლეკულებს ზედაპირიდან ამოისროლოს.ემიტირებული ნაწილაკების უმეტესობა ატომურ მდგომარეობაშია, რასაც ხშირად ატომურ ატომებს უწოდებენ.სამიზნის დაბომბვისთვის გამოყენებული ნაწილაკები შეიძლება იყოს ელექტრონები, იონები ან ნეიტრალური ნაწილაკები.იმის გამო, რომ იონები ადვილად აჩქარებენ ელექტრული ველის ქვეშ საჭირო კინეტიკური ენერგიის მისაღებად, მათი უმრავლესობა იყენებს იონებს დაბომბულ ნაწილაკებად.დახრჩობის პროცესი ემყარება მბზინავ გამონადენს, ანუ გამონაყარის იონები მოდის გაზის გამონადენიდან.ჭურვის სხვადასხვა ტექნოლოგიები იღებენ ნათების გამონადენის სხვადასხვა რეჟიმს.მუდმივი დიოდის დაფხვრა იყენებს DC ნათების გამონადენს;ტრიოდის თხრილი არის მბზინავი გამონადენი, რომელსაც მხარს უჭერს ცხელი კათოდი;RF sputtering იყენებს RF Glow გამონადენი;მაგნიტრონის გამონაყარი არის მბზინავი გამონადენი, რომელსაც აკონტროლებს რგოლოვანი მაგნიტური ველი.
ვაკუუმური აორთქლების საფართან შედარებით, დახვეწილ საფარს ბევრი უპირატესობა აქვს.მაგალითად, ნებისმიერი ნივთიერების გაფცქვნა შესაძლებელია, განსაკუთრებით ელემენტები და ნაერთები მაღალი დნობის წერტილით და დაბალი ორთქლის წნევით;ადჰეზია დაფქულ ფილასა და სუბსტრატს შორის კარგია;ფილმის მაღალი სიმკვრივე;ფილმის სისქე შეიძლება კონტროლდებოდეს და განმეორებადობა კარგია.მინუსი არის ის, რომ აღჭურვილობა რთულია და მოითხოვს მაღალი ძაბვის მოწყობილობებს.
გარდა ამისა, აორთქლების მეთოდისა და დაფქვის მეთოდის ერთობლიობა არის იონური დაფარვა.ამ მეთოდის უპირატესობა ის არის, რომ მიღებულ ფილას აქვს ძლიერი ადჰეზია სუბსტრატთან, მაღალი დეპონირების სიჩქარე და ფილმის მაღალი სიმკვრივე.
გამოქვეყნების დრო: ივლის-20-2022