ვოლფრამის სილიციდი
ვოლფრამის სილიციდი
ვოლფრამის სილიციდი WSi2 გამოიყენება როგორც ელექტროშოკის მასალა მიკროელექტრონიკაში, შუნტირებად პოლისილიკონის მავთულებზე, ანტი-ჟანგვის საფარსა და მავთულის წინააღმდეგობის საფარში.ვოლფრამის სილიციდი გამოიყენება როგორც კონტაქტური მასალა მიკროელექტრონიკაში, წინააღმდეგობის 60-80μΩcm.იქმნება 1000°C ტემპერატურაზე.ჩვეულებრივ გამოიყენება როგორც შუნტი პოლისილიკონის ხაზებისთვის მისი გამტარობის გაზრდისა და სიგნალის სიჩქარის გაზრდის მიზნით.ვოლფრამის სილიციდის ფენა შეიძლება მომზადდეს ქიმიური ორთქლის დეპონირებით, როგორიცაა ორთქლის დეპონირება.ნედლეულის გაზად გამოიყენეთ მონოსილანი ან დიქლოროსილანი და ვოლფრამის ჰექსაფტორიდი.დეპონირებული ფილმი არ არის სტექიომეტრიული და საჭიროებს ანეილირებას, რათა გარდაიქმნას უფრო გამტარ სტექიომეტრულ ფორმად.
ვოლფრამის სილიციდს შეუძლია შეცვალოს ადრინდელი ვოლფრამის ფილმი.ვოლფრამის სილიციდი ასევე გამოიყენება როგორც ბარიერის ფენა სილიკონსა და სხვა ლითონებს შორის.
ვოლფრამის სილიციდი ასევე ძალიან ღირებულია მიკროელექტრომექანიკურ სისტემებში, რომელთა შორის ვოლფრამის სილიციდი ძირითადად გამოიყენება როგორც თხელი ფილმი მიკროსქემების წარმოებისთვის.ამ მიზნით, ვოლფრამის სილიციდის ფირის პლაზმური ამოკვეთა შესაძლებელია, მაგალითად, სილიციდის გამოყენებით.
| ITEM | Ქიმიური შემადგენლობა | |||||
| ელემენტი | W | C | P | Fe | S | Si |
| კონტენტი (wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Ბალანსი |
Rich Special Materials სპეციალიზირებულია სამიზნე სამიზნის წარმოებაში და შეუძლია აწარმოოს ვოლფრამის სილიციდის სპუტტერული მასალები მომხმარებელთა სპეციფიკაციების მიხედვით.დამატებითი ინფორმაციისთვის გთხოვთ დაგვიკავშირდეთ.
